微量氧分析仪是一种常用的分析仪器，有便携式、电化学、在线式多种类型。在进行微量氧分析时，由于空气中氧含量高，故而如果处理不当极易造成对样品的污染和干扰，出现分析结果数据不正常，一些因素可能会影响微量氧分析仪的测量使用，比如：
1、背景气干扰
如燃料电池式分析仪，不同的主背景气（与背景气的摩尔质量有关），会影响分析结果。并且少量的氢气也会对分析结果产生较大的影响。
对于样气中含有微量酸性气体的情况，只有特殊型式的赫兹电池式氧分析仪才能排除于扰，防止传感器中毒，给出正确分析数据。其他燃料电池式氧分析仪均不能用于酸性气体分析。
2、干扰杂质影响
干扰杂质主要指除背景气和待测组分外存在的少量未知杂质，如燃料电池式微氧仪对酸性、氧化性气体敏感，如果气体中含有酸性气体成分，如CO2，H2S，HCl，HCN等，则燃料池传感器易中毒失效。而微量的还原性气体对氧化锆式微氧仪的分析结果产生影响，最近又发现微量的N2O对氧化锆式微量氧分析仪产生影响，所以在检测时要充分考虑到杂质的存在，选择恰当的分析仪，才能得到准确的结果。
注意事项：
1、泄漏：在初次启用前必须严格检漏。氧气微氧分析仪只有在严密不漏的前提下才能获得准确的数据结果。任何连接点，焊点，阀门等处的不严密，将会导致空气中的氧反渗进入管道及氧分析仪内部，从而得出含氧量偏高的结果。
2、污染：在重新使用时，首先须注意在连接氧分析仪的取样管路时是否漏入空气，并且必须认真将漏入氧气微氧分析仪的空气吹除干净或外接过滤器，尽量不使大量氧气通过氧气微氧分析仪的传感器以延长传感器寿命。
在管道系统净化过程中，为缩短净化时间，需要有一定的方法，一般使用高压放气及小流量吹除交替进行可迅速净化氧气微氧分析仪管道。此处要及时更换过滤器以免损坏设备使用寿命。
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